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SOP E-beam 1 - NCKU, 成功大學-微奈米科技研究中心
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日期：2025-10-16
明。接下來簡明敘述蒸鍍原理。 二、 原理 圖2-1 真空蒸鍍示意圖 圖2-1 顯示一個簡易的真空蒸鍍機（Vacuum Evaporator ）的示意圖。它主要是由一個 用以執行真空蒸鍍的蒸鍍室（Evaporator Chamber），及一組用以提供蒸鍍所需之真空 渡真空系統所組成的。在 ......看更多
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