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Silicon and Silicon Nitride Prepared by Ratio-frequency magnetron ...
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日期：2025-06-06
本研究的目的是利用磁式濺鍍機，於室溫，在矽基板和玻璃基板. 上成長矽與氮化矽
..... 附著力變差；所以基板清洗是非常基本但卻很重要的一個步驟。 首先準備1.5cm ......看更多
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