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The CIC CMOS MEMS Design Platform for Heterogeneous ...
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日期：2025-04-26
已開發0.35um/0.18um CMOS MEMS/BioMEMS 技術平台，並提供包含參考準則、製程. 描述檔、材料參數、微機電系統參考設計等檔案及文件，本手冊及相關參考 ......看更多
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