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CMOS MEMS 製程平台於微感測器之應用 - 微感測器與致動 ...
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日期：2025-04-30
加速度計、溫度感測器、壓力計與觸覺感測器，來完整說明CMOS MEMS 元件設計、 ... The authors have reported the design and implementation of CMOS MEMS ......看更多
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