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![感應耦合電漿]()
www.che.ntu.edu.tw感應耦合電漿 INDUCTIVELY COUPLED PLASMA 儀器中文名稱：感應耦合電漿 儀器英文名稱：INDUCTIVELY COUPLED PLASMA 儀器英文簡稱： ICP 儀器設備說明： 儀器購置年月：1998 年5 月 廠牌及型號：Perkin Elmer 3100XL 重要規格：可分析之元素約達 ...瀏覽：307 -
![ICP - 國研院儀科中心]()
www.itrc.narl.org.tw建置在本中心之 STS 感應耦合電漿 離子蝕刻系統，其硬體基本規格如下：上電極線圈為 1000 W、頻率 13.56 MHz 的 RF 電源，下電極為 300 W、頻率 13.56 MHz 的 RF 電源。晶片冷卻方式為背面氦氣冷卻 ...瀏覽：1122
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