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  浸潤式曝光機 - DIGITIMES
  
  半導體產業在50奈米製程以下發展後，浸潤式微顯影(Immersion Scanner)機器設備成為必須的機器設備，但上一波金融風暴來襲，設備商因為撙節成本、裁員等影響，縮減投資規格，使得2009年初半導體景氣一下子全面復甦後，晶圓代
  
  2025-10-02
  
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- tw.knowledge.yahoo.com
  
  何謂浸潤式曝光顯影技術??? - Yahoo!奇摩知識+
  
  請問各位：因之前新聞報導台積電將在未來45奈米製程將採用浸潤式曝光顯影技術，而所謂的浸潤式曝光顯影技術與傳統的光學曝光顯影技術有何不同???另其優缺點為何???(請勿 ...
  
  2025-10-01
  
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你要找浸潤式曝光機的相關資料?最近來提供技術的DRAM廠, 浸潤式曝光機波長, 浸潤式曝光機原理的網頁資料都 ...

日期：2025-09-28

你有任何關於浸潤式曝光機,最近來提供技術的DRAM廠,浸潤式曝光機波長,浸潤式曝光機原理的相關資料都在這裡。 ... 台積電(TSMC)近日表示，該公司浸潤式 ... 指出透過該公司專有的技術，浸潤式曝光顯影成功產出多批測試晶片，單片晶片上的晶片缺陷最低 ......

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浸潤式曝光機 ,最近來提供技術的DRAM廠 ,浸潤式曝光機波長-依據網友的人工智慧,資訊匯整,消費比價,推薦百科 ...

日期：2025-09-30

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TSMC浸潤式曝光顯影技術即將邁入量產

日期：2025-10-01

台積電(TSMC)近日表示，該公司浸潤式曝光顯影技術所產出的測試晶片，已相當符合量產所要求的參數標準，並計劃將於45 ... 在曝光機台的鏡頭與晶圓片間加入水作為介質，以得到更高解析度的光源，而製造面積更小、密度更高的元件。...

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台積公司表示浸潤式曝光顯影技術不久後可邁入

日期：2025-10-01

台積公司表示浸潤式曝光顯影技術不久後可邁入量產台積公司專有的浸潤式曝光顯影技術產出幾乎零缺陷密度的晶片 ... 浸潤式曝光顯影技術係使用水或類似的清澈液體當作成像的介質。在曝光機 ......

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半導體科技.先進封裝與測試雜誌 - [無塵室] 供給浸潤式微影的使用點超純水 - Semicondutor Magazine

日期：2025-09-29

Michael E. Clarke, Annie Xia, Joseph Smith, Bipin Parekh, Entegris, Inc. 浸潤式顯影技術(LIL)最近已經躍進到所有微影討論的中心。由於在2004~2006年期間交付了一些有生產價值的LIL機臺機組，LIL現在已經不再是一種新奇的產品，而是一項主流技術。半導體工業藉 ......

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