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互補式金屬氧化物半導體(簡稱互補式金氧半;英语:Complementary Metal-Oxide-
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18. 科儀新知第三十卷第一期97.8. CMOS MEMS 微型加速度計. COMS MEMS
Accelerometer. CMOS MEMS 是目前相當受到矚目的一項微機電技術,除了有許多
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