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日期:2024-05-10
(1) 將全新的晶片進行RCA Clean,RCA Clean 的清洗過程為:H2SO4 + HF + ... (3) 進行爐管前STD Clean,STD Clean 的清洗過程為:HF + SC1 + SC2. 1....
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日期:2024-05-08
1990年12月25日 ... 另一種無機(inorganic)溶液的去光阻方式,其原理則和有機溶液之原理不 ...... i. 預警 系統. 洗淨功能(Recipe Capabilities): a. RCA-clean b. B-clean....
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日期:2024-05-11
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