search:rf電漿相關網頁資料
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![實驗2 以電漿濺鍍法製作金屬薄膜]()
www.phys.ncyu.edu.tw一、實驗目的 學習利用熱蒸鍍及電漿濺鍍法(Sputtering Deposition in Plasma Environment)製作金屬薄膜。1．瞭解真空技術的基本知識； 2．掌握低、高真空的獲得和測量的基本原理及方法； 3．瞭解真空鍍膜的基本知識； 4．學習掌握蒸鍍鍍膜的基本原理和方法．瀏覽：670 -
![薄膜沈積製程技術]()
rdweb.adm.nctu.edu.tw薄膜沈積製程 技術 (Thin Film Deposition) 劉柏村教授 交通大學光電工程學系/顯示科技研究所 E-mail: ptliu@mail.nctu.edu.tw TEL: 5712121 ext. 52994 2 積體電路從晶圓的拉晶、製造到構裝完成的簡易流程 ...瀏覽：562
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日期：2024-04-17
2013年4月12日 ... 電漿工程原理. 與應用. 詹德均. 核能研究所物理組. 1. 核能研究所物理組. TEL: 03-
4711400 ext.7440 mail: djjan@iner.gov.tw. Plasma Engineering ......
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1. 第五章. 電漿基礎原理. 2. 電漿的成分. • 電漿是由中性原子或分子、電子(-）和正
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