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中原大學應用物理研究所碩士學位論文感應耦合式電漿蝕刻技術對氮 ...
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日期：2025-12-16
利用感應耦合式電漿技術對氮化鎵磊晶層進行蝕刻。改變不. 同氣體的混合比例、 感應耦合式電漿功率和射頻功率等研究其對. 蝕刻速率的變化，並且藉由掃瞄式電子 ......看更多
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