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冷凍空調工程系碩士班碩士學位論文半導體廠潔淨室氣流模擬 ...
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日期：2025-12-11
本研究利用計算流體力學分析軟體，以Class 100 之無塵室實際尺寸（28.8 m 長 ... 風車濾網組(FFU)運轉與潔淨室壓力變化之影響，以設計出最具節能及低成本之 ...... 流式無塵室若為Class 100 級者，其造價為Class 10,000 之20 ~ 30 倍，若為1. 級者則 ......看更多
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