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利用射頻磁控濺鍍法沈積氮化鋁薄膜並應用於表面聲波元件 - 大同大學

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日期：2025-12-16
圖2.7 RF 濺鍍系統直流自我偏壓………………………………………...21 ..... 電漿 產生之直流自我偏壓(D.C self-bias)值約. 2....看更多

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