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半導體科技新聞- 高密度電漿技術的發展- Semicondutor News ...
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日期：2025-06-24
其中最具商業化潛力的要算是電感耦合式電漿(ICP)或稱之為變壓器耦合電漿(TCP)。 ... 高均勻度電漿即為科學家所競相追求的目標，因此ICP高密度電漿的基本原理乃是以磁場來產生耦合。...看更多
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