半導體科技.先進封裝與測試雜誌 - 改善金屬閘極的功函數控制 - Semicondutor Magazine

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日期:2025-11-16
... ,MG),以做為未來的效能提昇之用。而實現金屬閘極的一個關鍵挑戰,是如何選擇具有合適功函數(workfunction)的金屬。如何做出正確的選擇是很關鍵的,因為閘極的有效功函數(effective workfunction)(因此也是MOSFET臨界電壓) ......看更多