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半導體科技.先進封裝與測試雜誌 - 晶圓廠副廠設備同步化增加節能效益 - Semicondutor Magazine
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日期：2024-05-09
10pt background-color: #ffffff 3>研究顯示晶圓製造設備所消耗的能源有40%是落在副廠(subfab)內，著手降低每片晶圓的副廠能源消耗(energy consumption)，而不影響環境、健康與安全規範(EHS)是值得期許也是可以達到的。副廠內有許多組成設備，對這些各自分散的 ......看更多
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