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半導體科技.先進封裝與測試雜誌 - 潤濕液在IC先進微影製程所扮演的角色 - Semicondutor Magazine
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日期：2025-05-22
3> 24pt> 18pt 3>IC 線路的設計規格，隨著時代的演進持續快速地縮小，隨著積體電路日益發展，曝光的波長也由g-line，I-line，KrF，ArF 和浸潤式的ArF，漸漸的縮短，但半導體 ......看更多
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