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塑膠基板濺鍍AZO及氫電漿處理_薄膜特性量測.doc
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日期:2025-06-01
利用霍爾效應(Ecopia HMS-5000型)量測電性,主要功能為量測薄膜之載子濃度(
Carrier concentration)及載子遷移率(Carrier mobility),其量測原理是由1958年L.J.
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