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奈米球的乾式蝕刻- 國立高雄大學應用物理學系
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日期:2024-05-20
實驗目的:氧電漿如何蝕刻有機材料. 二.實驗儀器:. 1.矽基板及500nm球溶液. 2.電漿
機. 3.微量滴管. 4.原子力顯微鏡. 三....看更多