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力鼎精密股份有限公司 - 乾式蝕刻(PVD、物理氣相沈積、真空鍍膜、高真空濺鍍、全自動高真空金屬濺鍍設備 ...
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日期：2024-05-06
乾式蝕刻 Caprica 200/300 Caprica 是一台全自動化、多腔室的高密度電漿蝕刻系統，Caprica 使用感應耦合式電漿(ICP)產生高密度電漿，同時配備靜電吸附式氦氣冷卻系統(electrostatic chucked helium cooling system)，所以本系統可以在低溫下達成高蝕刻率。...看更多
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