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整合光輔助電化學穿孔蝕刻與微電鑄技術應用於微金屬柱陣列之 ...
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日期：2025-05-16
電化學蝕刻形成多孔矽(porous silicon)的基本機. 制如圖一所示[3-5]：矽晶片的表面
在含氫氟酸(HF). 之電解液中，經陽極 ......看更多
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