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朱安國博士非等向性蝕刻製程於 - eThesys 國立中山大學學位 ...
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日期：2025-05-15
圖5-9 BOE 蝕刻完成之圖形. 46. 圖5-10 ... 向蝕刻速率相同的等向性蝕刻(isotropic etching)，早期被應用於化學. 性拋光及 ...... 於採用SiO2 為保護材料的製程中，以氫氟酸(HF)作濕蝕刻SiO2....看更多
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