材料世界網:微波電漿製程技術與奈米粉體之應用

材料世界網:微波電漿製程技術與奈米粉體之應用

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日期:2025-05-10
微波電漿具有眾多特點,例如不需要電極、在微波電漿 中被活化的分子及化學自由基(ChemicalRadical)的數量比射頻電漿高出許多等,因而大大的提高微波電漿的應用層面。本文介紹微波電漿之特點、增進反應動力的主要原理、奈米粒子形成機構/步驟、各種 ......看更多