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(22)-聚二甲基矽氧烷(PDMS)微加工技術 - 越吟有限公司：文章摘要
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日期：2025-05-10
聚對二甲基矽氧烷(poly-dimethylsiloxane；PDMS)，當作微機電的高分子素材，在
從事 ... 將具有母模微流道圖案之PDMS待結合表面，以氧氣電漿進行氧化處理，之後
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