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第四章電漿放電基本原理
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日期:2025-06-09
電漿放電(plasma discharge)為一由離子、電子及中性質點所組成的部份. 游離的電中性的 ... 就薄膜製程時所需要知道的基本電漿知識做一介紹,首先將介紹電漿中的....看更多