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電漿表面改質及摻雜對LPCVD 氧化鋅膜效應之研究 - 龍華 ...
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日期：2025-06-23
在高氧氣氛下(87.5%)，摻入氧化鎂，探討對鎂氧化鋅(MgZnO)膜之特性及結構影響。 在. 各次CVD 先驅物 ... 出現，Meng[9]則以氧電漿表面處理氧化. 鋅奈米線，造成其 ......看更多
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