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電漿處理基本原理
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日期：2025-10-02
廣義而言，電漿是指一發光的、電中性(electrically neutral)的離子氣團，在這氣團中
... 電漿蝕刻主要應用於清除表面污染物，具有清潔之功效；並且造成基材表面氧化、 ......看更多
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