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電漿輔助化學氣相沈積鍍膜（Plasma Enhanced CVD, PECVD）www.tool-tool.com - BW Cutting Tools - PChome 個人新聞台
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日期：2025-06-06
Bewise Inc. www.tool-tool.com Reference source from the internet. 半導體製程上的應用a.氮化矽膜 SiN Si3N4 在半導體製程中是很好的擴散阻擋層(Diffusion Bar...看更多
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