rf電漿自我偏壓的相關文章
rf電漿自我偏壓的相關公司資訊
rf電漿自我偏壓的相關商品
300mm單極靜電式晶圓座之研製與量測分析 - 國立清華大學

300mm單極靜電式晶圓座之研製與量測分析 - 國立清華大學

瀏覽：793
日期：2025-06-06
Abstract: 隨著製程技術的演進，電漿在半導體IC上的應用，趨向以高密度、大面積 ... 螺旋感應線圈，外接匹配網路至射頻電源供應器上，RF射頻功率則採用13.56MHz。 ... 產生自我直流偏壓和吸附力，冷卻系統則以氦氣及純水對晶片進行熱移除的動作。...看更多

  • 關於 資訊書籤

    資訊書籤 為一個創新娛樂部落格平台，讓大家的創作都能夠在同一個網站上曝光，本站蒐羅了來自各方網友們的精彩文章、圖片及影片。本站無時無刻都有網友提供最新文章，歡迎大家多多拜訪!
    重要聲明：本網站是以即時上傳內容的方式運作，對所有內容的真實性、完整性及立場等，不負任何法律責任。一切內容只代表發文者個人意見，並非本網站之立場，用戶應自行判斷內容之真實性。由於本網站受到「即時上傳內容」運作方式所規範，故不能完全監察所有內容，若讀者發現出現問題，請聯絡我們。本網站保留一切法律權利。
2025 © 資訊書籤 | 隱私權政策