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CVD的原理為何?? - Yahoo!奇摩知識+

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日期：2025-10-17
可能是利用電漿（plasma），那就叫PECVD（plamsa enhanced CVD），或者用加熱的方式（Thermal CVD），若可以快速升降溫，那就是RTCVD（Rapid Thermal ......看更多

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