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Lab2 二氧化矽(SiO 2)遮罩蝕刻 - 國立高雄第一科技大學

Lab2 二氧化矽(SiO 2)遮罩蝕刻 - 國立高雄第一科技大學

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日期：2025-06-02
進行蝕刻，其餘未被BOE 蝕刻之部分則當作TMAH 蝕刻矽時的阻擋層，最後形成開 孔. 的幾何結構。一般矽結構的非等向蝕刻 ......看更多

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