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PECVD 電漿Arcing 之改善研究
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日期：2025-10-09
2013年9月16日 - Keywords: 化學氣相沉積;電漿;薄膜厚度;陽極處理 ... 發生的主因及改善方法，討論PECVD RF 之作用原理，Heater Top Plate 受電漿蝕刻離子轟擊, ......看更多
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