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Re : 何謂天線效應呢.... - SOC/IP發展討論區- Chip123創新論壇創新研 ...

Re : 何謂天線效應呢.... - SOC/IP發展討論區- Chip123創新論壇創新研 ...

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日期：2025-04-26
簡單來說, 在使用電漿製程(乾蝕刻) 時, 可能會有大量電荷累積到閘極金屬層上, 導致介電層電場過強, 造成良率問題. 此為金屬層會有和天線類似的 ......看更多

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