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氫氟酸濃度需達到多少才能夠溶解矽化物? - Yahoo!奇摩知識+
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日期：2025-05-05
氫氟酸能分解石英玻璃，反應式如下：SiO2+6HF→H2SiF6→2HF+SiF4↑。 .... 經常被做為蝕刻阻擋層(Etchmask)的材料有氮化矽和二氧化矽，對這兩種材料的蝕刻 ......看更多
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