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Chapter 7 電漿的基礎原理 - 義守大學 I-Shou University

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日期：2025-05-02
電漿的基礎原理 2 目標 • 列出至少三種用到電漿的半導體製程 • 列出電漿中的主要三種碰撞 • 說明平均自由路徑 • 說明電漿如何增強蝕刻及CVD 製程 • 列出兩 ......看更多

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