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![蒸鍍 - 維基百科，自由的百科全書]()
zh.wikipedia.org蒸鍍(deposition），將 金屬 和酸化物等 蒸發 ，使其於素材的表面附著形成一層薄膜的一種方法。蒸鍍可大略分為 物理蒸鍍 （PVD）與 化學蒸鍍 (CVD)兩種。 接下來以PVD的一種真空蒸鍍來說明。 半導體器件製造 有機金屬化學氣相沉積法 電漿製程 取自「 http ...瀏覽：692 -
![實驗2 以電漿濺鍍法製作金屬薄膜]()
www.phys.ncyu.edu.tw一、實驗目的 學習利用熱蒸鍍及電漿濺鍍法(Sputtering Deposition in Plasma Environment)製作金屬薄膜。1．瞭解真空技術的基本知識； 2．掌握低、高真空的獲得和測量的基本原理及方法； 3．瞭解真空鍍膜的基本知識； 4．學習掌握蒸鍍鍍膜的基本原理和方法．瀏覽：1122
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