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日期:2025-04-30
本單元隨時更新有關半導體設備/製程、晶圓代工產業、電子製造領域的業界趨勢與技術訊息,並提供專業技術文章,協助工程師深入瞭解尖端半導體技術的發展趨勢。...
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日期:2025-04-24
目錄. • I.光罩製作. • II.光阻. • III.清洗晶圓(晶片). • IV.光阻塗佈. • V.軟烤. • VI.曝光. • VII.曝後烤. • VIII.顯影. • IX.硬烤. • X.PDMS ......
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日期:2025-05-01
然而近幾年來,感應器已由關鍵元件進一步提升成為產生創新價值的主要元件。產品研發團隊利用感應器創造出革新應用的一波風潮,讓不少媒體甚至以「感應器 ......
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日期:2025-04-27
2014年11月18日 - MEMS 技術發展的重要課題之一。 現階段MEMS 產品開發方向即是朝解決上述課題來發展,特別是CMOS MEMS 製程的開發,. CMOS MEMS 製程 ......
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日期:2025-04-24
部份MEMS(微機電系統)元件所需專屬的製程限制了傳統MEMS技術的發展。相反地,CMOS MEMS製程技術則代表單一元件新的里程碑,CMOS MEMS乃是直接在 ......
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日期:2025-04-27
已開發0.35um/0.18um CMOS MEMS/BioMEMS 技術平台,並提供包含參考準則、製程. 描述檔、材料參數、微機電系統參考設計等檔案及文件,本手冊及相關參考 ......