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中原大學應用物理研究所碩士學位論文感應耦合式電漿蝕刻技術對氮 ...
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日期：2025-07-03
感應耦合式電漿蝕刻技術. 對氮化鎵的蝕刻研究. Study of Inductively Coupled
Plasma Etching on GaN. 指導教授：周武清博士. 研究生：林雅玲. 中華民國九十年六
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