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化學氣相沈積 - PECVD
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日期：2025-07-15
什麼是 PECVD？ 電漿輔助化學氣相沈積（PECVD）是CVD技術中的一種，其沈積原理與一般CVD並沒有太大差異。PECVD是使用電漿中化學活性較高的離子與自由基等高能物種來增強化學反應，此外由於基板表面受到離子撞擊，因此化學活性也會跟著提高，這 ......看更多
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