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晶圓的處理－ 微影成像與蝕刻
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日期：2025-05-19
常用蝕刻劑. • 氧化膜（SiO. 2. ）：. 氧化膜（. 2. ） – HF. – HF + NH. 4. F. 氮化膜（Si N ）
H PO. • 氮化膜（Si. 3. N. 4. ）：H. 3. PO....看更多
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