晶圓的處理- 微影成像與蝕刻

晶圓的處理- 微影成像與蝕刻

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日期:2025-10-09
常用蝕刻劑. • 氧化膜(SiO. 2. ):. 氧化膜(. 2. ) – HF. – HF + NH. 4. F. 氮化膜(Si N ) H PO. • 氮化膜(Si. 3. N. 4. ):H. 3. PO....看更多