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活性離子蝕刻於TFT-LCD之蝕刻率改善研究__國立交通大學 ...
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日期：2025-05-23
電漿技術在TFT LCD面板製程中廣泛被應用，例如乾蝕刻、薄膜沈積、去光阻等等都與電漿技術相關，乾蝕刻的優勢在於微結構控制良好，尤其台灣半導體 ... 本實驗主要使用活性離子蝕刻機台來進行乾式蝕刻，機台內使用氯氣. ... 2.1.1乾蝕刻電漿原理6...看更多
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