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物理蒸鍍之基礎與應用授課大綱
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日期:2025-06-05
1994年4月6日 - 金屬工業研究發展中心. 12. 物理氣相蒸鍍設備之基本構造. ▫ 腔體. ▫ 閥門系統. ▫ 抽氣系統. ▫ 基板. ▫ 靶源. ▫ 電源供應器. ▫ 真空計. ▫ 質量流量計....看更多