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5.6 微影技術(Lithography) II
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日期：2025-05-13
乾式蝕刻是利用電漿，對底膜就是光阻，產生可進行蝕刻的活性種 。 ◇ 濕式蝕刻則是將晶圓浸入藥水中進行 ......看更多
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