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N-Slot 感應式耦合電漿源平面顯示器蝕刻製程開發 - 大同大學
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日期：2025-10-05
本文內容在探討平面顯示器中高密度電漿源的蝕刻製程開發，其中深層的矽氧. 化層蝕刻以及多晶矽島尺寸 ......看更多
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