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日期：2025-05-16
電漿技術在TFT LCD面板製程中廣泛被應用，例如乾蝕刻、薄膜沈積、去光. 阻等等都與電漿技術相關，乾蝕刻 .... 2.1 乾蝕刻製程與設備原理. ... 2.1.1 乾蝕刻電漿原理....看更多
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