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化學氣相沈積 - 俊尚科技股份有限公司
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日期：2025-05-07
電漿輔助化學氣相沈積（PECVD）是CVD技術中的一種，其沈積原理與一般CVD並沒有太大差異。PECVD是使用電漿中化學活性較高的離子與自由基等高能物種來 ......看更多
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