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t - 國立中央大學

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日期：2025-05-22
研究結果可得，不同遮罩圖形之X方向與Y方向各結構平面的蝕刻率，. 且由側向蝕刻與縱向蝕刻建立蝕刻關係式，並 ..... 圖2.6 氫氟酸(HF)濃度與蝕刻率之變化[29]........... ...................................... 18....看更多

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