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反應式離子蝕刻機RIE 操作手冊 - 微奈米科技研究中心
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日期：2025-05-08
2003年6月12日 ... 刻是一種以氣體為主要的蝕刻媒介，並藉由電漿能量來驅動反應。 ... 電漿蝕刻的反應
與作用，主要有三個部分：. 1. ... 邊緣接近90 度，缺點是過程當中不能只選取一部分
範圍來進行反應。...看更多
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