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第七章蝕刻技術

第七章蝕刻技術

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日期：2025-05-07
在電漿蝕刻中以直流方式產生輝光放電的缺點包含了：1) 需要. 較高的功率消耗，也 就是說產生的離子密度低；2) 須要以離子....看更多

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