反應式離子蝕刻機RIE 操作手冊 - 微奈米科技研究中心

反應式離子蝕刻機RIE 操作手冊 - 微奈米科技研究中心

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日期:2024-06-10
2003年6月12日 ... 刻是一種以氣體為主要的蝕刻媒介,並藉由電漿能量來驅動反應。 ... 電漿蝕刻的反應 與作用,主要有三個部分:. 1. ... 邊緣接近90 度,缺點是過程當中不能只選取一部分 範圍來進行反應。...看更多