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Chap9 蝕刻(Etching)
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日期:2025-05-23
乾式蝕刻是以電漿,而非濕式的溶液,來進行薄膜蝕刻的. 一種技術。 ◇乾蝕刻的
優點為非等向性蝕刻。 ◇乾蝕刻的非等向性 ......看更多